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NF-300H Astra
12英寸PEALD设备

产品介绍

NF-300H Astra 系列是我公司自主研发的原子层沉积(Atomic Layer Deposition)设备,可配置3个6站的反应腔,其ALD反应腔搭载在高产能的PECVD平台上,满足了对设备产能的需求。现可提供具有高质量的PEALD SiO2、SiN薄膜等。



 
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