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产品介绍

PF-300T SAF, PF-200T SA
12英寸 , 8英寸 SACVD设备

产品介绍

SACVD 设备系列是我公司自主研发的次常压化学气相沉积(SACVD)设备。SACVD反应腔搭载在已通过量产验证的高产能PECVD平台上,充分实现客户对产能的需求。该设备主要应用在STI、PMD/ILD等,满足Gap-fill的需求。


 
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